Grafitelektroder til fremstilling af integrerede kredsløb
Jincheng Graphite, som en professionel producent af grafitprodukter, leverer grafitelektroder med høj ledningsevne og høj termisk stabilitet til fremstilling af integrerede kredsløb. Disse elektroder er specielt designet til nøgleprocesser såsom litografi, ætsning og aflejring, med højpræcisionsbehandlingskapacitet, lang levetid og lav termisk belastning. De er meget udbredt i den avancerede-halvlederfremstillingsindustri.
Kernefordel
Høj ledningsevne og termisk stabilitet
Ved at bruge grafitsubstrater med høj-renhed og kombineret overfladebehandlingsteknologi i nanoskala når ledningsevnen større end eller lig med 10^5 S/m, og den termiske udvidelseskoefficient er mindre end eller lig med 3,5×10⁻⁶/grad. Dette sikrer strukturel stabilitet under høje-temperaturprocesser og forhindrer termisk deformation af wafer.
Præcisionsbehandlingskompatibilitet
Gennem laserskæring, plasmaætsning osv. understøtter den elektrodetykkelser fra 0,05 til 3 mm og tilpassede komplekse geometrier, velegnet til waferbehandlingsudstyr til avancerede processer på 5nm og derunder, der opfylder kravene til høj-præcisionsjustering.
Korrosionsbestandighed og slidstyrke
Overfladen gennemgår en kemisk passiveringsbehandling. Den gennemgår stærk syrekorrosionstest med HF, HNO₃ osv., og kan modstå temperaturer op til 1500 grader eller derover, hvilket forlænger elektrodernes levetid betydeligt og reducerer risikoen for procesafbrydelser.
Applikationsscenario
Grafitelektroder, der bruges til fremstilling af integrerede kredsløb, anvendes i vid udstrækning i nøgleprocesser såsom plasmaætsning (til bearbejdning af dybe sub-mikrongrave), kemisk dampaflejring (CVD) og fysisk dampaflejring (PVD). Deres egenskaber med lav termisk spænding kan effektivt forhindre defekter forårsaget af ujævn termisk ekspansion af wafere, hvilket øger udbyttet af high-chips til over 99,8 % og hjælper med at opnå miniaturisering og høj-densitetsintegration af chipfremstillingsprocesser.
Tekniske specifikationer
| Elektrisk ledningsevne | Større end eller lig med 10^5 S/m (ved stuetemperatur) |
| Termisk udvidelseskoefficient | Mindre end eller lig med 3,5 × 10⁻⁶ / grad |
| Overfladeruhed | Ra Mindre end eller lig med 0,2 μm |
| Korrosionsbestandighed | Bestået test i stærke syrer, stærke alkalier og plasmamiljøer |
| Mekanisk styrke | Trykstyrke Større end eller lig med 120 MPa |
Jincheng grafit kvalitetssikring
Jincheng Graphite har været dybt involveret inden for grafitprodukter i 18 år. Det besidder sine egne uafhængige intellektuelle ejendomsrettigheder til lav-temperatursintringsteknologi og ISO9001 kvalitetsstyringssystemcertificering. Den kontrollerer strengt hele processen fra rensning af råmateriale (renhed større end eller lig med 99,99%), støbning og presning til høj-temperatursintring for at sikre, at produkterne opfylder de strenge krav fra halvlederindustrien til renhed (ISO 4-kvalitet), termisk stabilitet (±0,5 grader ) og overfladen er lig med 1 μs. eller 1 μs.
Samarbejdsforpligtelse
Jincheng Graphite tilbyder gratis prøvetestning, 72-timers teknisk respons og support til prøveproduktion i små-skala. Det kan tilpasse elektrodedimensioner, ledende ydeevneparametre og overfladebehandlingsplaner i henhold til kundens proceskrav. Det er forpligtet til at levere højtydende og pålidelige grafitelektrodeløsninger til globale halvledervirksomheder. Med professionel teknologi, hurtig levering og kontinuerlig innovation er det blevet en kernepartner inden for termisk styring og præcisionsbehandling i integreret kredsløbsfremstilling.
Populære tags: grafitelektroder til ic-fremstilling, Kina grafitelektroder til ic-fremstilling producenter, leverandører, fabrik
