Grafithylstre til halvlederudstyr
Jincheng Graphite, som en professionel producent af grafithylstre, leverer høj-temperaturbestandige og høj termisk ledningsevne grafithylstre til halvlederudstyr. Disse ærmer er specielt designet til høje-temperaturreaktionskamre og vakuumudstyr, med stærk termisk stabilitet, korrosionsbestandighed og lang levetid. De er meget udbredt i halvlederfremstillingsindustrien.
Kernefordel
Ekstrem temperaturbestandighed
Ved at bruge en grafit med høj-renhed (kulstofindhold større end eller lig med 99,99%) og en keramisk kompositproces er temperaturmodstandsområdet fra -200 grader til 3000 grader, velegnet til reaktionsmiljøer med høj temperatur i halvlederudstyr.
Høj varmeledningsevne
Gennem kombinationen af flerlagsgrafitstruktur og vakuumkammer reduceres den termiske modstand til 0,05 K/W, hvilket sikrer ensartet fordeling af høje-temperaturgasser og undgår lokal overophedning, der forårsager materialedeformation.
Stærk kemisk stabilitet
Fremragende korrosionsbestandighed, i stand til at fungere stabilt i halvlederprocesgasser som brint og nitrogen i lang tid, hvilket reducerer hyppigheden af udstyrsvedligeholdelse.
Applikationsscenario
Høj-temperaturreaktionskammerudstyr
Brugt i halvlederfremstillingsprocesser såsom CVD og PVD, kan grafithylsteret jævnt lede varme, hvilket forbedrer processtabilitet og udbytte.
Vakuum miljø varmesystem
Under tørre- og udglødningsprocesserne af halvlederskiver giver grafithylsteret ensartet varmefordeling, hvilket reducerer risikoen for termisk stress.
Høj-laserudstyr
Kompatibel med-højenergilaserhulrum leder den hurtigt varme gennem grafithylsteret for at sikre sikker drift af udstyret.
Tekniske parametre
| Termisk ledningsevne | 250 - 400 W/m·K (kan tilpasses i henhold til proceskrav) |
| Driftstemperaturområde | -200 grader til 3000 grader |
| Egnet gasmiljø | brint, nitrogen, argon osv. halvlederprocesgasser |
| Overfladebehandling | plasma polering / coating (tilpasses) |
Jincheng grafit kvalitetssikring
Baseret på 20 års erfaring med grafitmaterialeforskning, anvender Jincheng Graphite patenteret vakuumkompositteknologi og nanometer-grafitfyldningsteknologi for at sikre stabiliteten af grafithylstre under ekstreme forhold. Certificeret efter ISO 9001-kvalitetssystemet og AS9100 luftfartsstandarder og opfylder kravene i høj-pålidelighedsapplikationsscenarier.
Samarbejdsforpligtelse
Jincheng Graphite tilbyder en komplet-proces tilpasset service fra design, produktion til efter-salg, understøtter små-batchprøveproduktion og stor-tilpasning. Det sikrer en kort leveringscyklus og kontrollerbare omkostninger. Gennem det globale logistiknetværk og lokale serviceteams leverer det effektive og stabile grafithylsterløsninger til halvlederudstyr, der hjælper med at opnå langsigtet-stabil drift af høj-præcisionsprocesser.
Populære tags: grafitbøsninger til halvlederudstyr, Kina grafitbøsninger til halvlederudstyrsproducenter, leverandører, fabrik
